Eskala nanometrikoko erasoak
Helburua
Nanokanalak fabrikatzea.
Emaitzak
Gailu jariakorrak fabrikatzea, DNA luzatzeko erabil daitezkeen nanokanalak dituztenak.
Aplikazio askotan —nanofluidikan, adibidez—, eraso bertikalak eta dimentsio-kontrol handikoak egin behar dira, behar bezala zigilatzeko moduko gailu homogeneoak lortzeko.
Eraso horiek SF6 eraso-plasma bat beste plasma batzuekin konbinatuz lor daitezke. Tekniker-en, 50 nm-ko horrelako kanalak fabrikatu dira, DNA-luzaketan erabiltzeko.