Mikro eta nanoteknologien atalaren barnean sartzen da hainbat materialetan egiturak sortzea ahalbidetzen duten fabrikazio-prozesuak garatzea. Eskala desberdinetan, hasi 10 nm-tik eta 100 µm-ra bitartean, hainbat prozesu oso desberdin erabiltzen dira horretarako: Nanoinprimaketako Litografia, Litografia Biguna, UV Litografia, geruza finen jalkipena, plasma bidezko erasoa edo mikrofresatua, hari bidezko edo sarpen bidezko mikroelektrohigadura edo femtosegundokako pultsuen laser bidezko ablazioa.
Sistemak garatzeko teknologia horiek erabiltzen dituzten esparruak hainbat dira:
Era berean, ezaugarri jakin batzuk -optikoak, magnetikoak, kimikoki geldoak, korrosioaren kontrakoak, higaduraren kontrakoak edo katalitikoak- dituzten gainazal funtzionalak garatzeko beharrezko diren teknologiak lortzeko lanean ari gara. Gainazal horiek diseinatzeko beharrezko tresnak erabili behar dira, teoria, modelizazioa eta simulazioa erabiliz.
Informazio gehiago [PDF 102,16 KB]