Ataques a escala nanométrica

En aplicaciones muy diversas, como en nanofluídica, es necesario obtener ataques verticales y con un gran control dimensional, con el fin de obtener dispositivos homogéneos que se pueden sellar adecuadamente.

Estos ataques se pueden conseguir mediante la combinación de un plasma de ataque SF6 con otros plasmas. En Tekniker se han fabricado este tipo de canales con tamaños de 50 nm para su aplicación a estiramiento de ADN.